温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种环保介电层材料化学机械抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质：三甲硅基甲基磷酸二甲酯12-23份，氰尿酸三聚氰胺10-16份，滑石粉8-16份，液态石蜡4-9份，高岭土1-3份，季戊四醇1-5份，氰尿酸三聚氰胺盐2-3份...
该专利属于青岛承天伟业机械制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛承天伟业机械制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。