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本发明属于多晶硅铸锭领域，特别涉及一种电子束熔炼与长晶技术耦合制备多晶硅的装置及工艺方法。一种电子束熔炼与长晶技术耦合制备多晶硅的装置，炉体内放置有石墨坩埚，石墨坩埚外壁由内向外依次环绕有石墨加热体和石墨保温套，石墨保温套的上石墨盖板可水平...
该专利属于青岛隆盛晶硅科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛隆盛晶硅科技有限公司授权不得商用。

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