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晶圆放置座及晶圆测试机台制造技术
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文档序号:9423497
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本实用新型提供一种晶圆放置座及晶圆测试机台。该晶圆放置座包括:一第一晶圆载具,具有一上表面,该上表面并具有多个真空吸孔;一第二晶圆载具,该第二晶圆载具包括一上表面及与该上表面相对的一下表面,该第二晶圆载具与该第一晶圆载具相叠,该第二晶圆载具...
该专利属于标准科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过标准科技股份有限公司授权不得商用。
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