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文档序号:9410675
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在玻璃基板(11)上形成TFT(1),并形成覆盖TFT(1)的平坦化树脂膜(17)。接着,形成覆盖平坦化树脂膜(17)的整个表面的防湿性的保护膜(18)。保护膜(18)使用SiO2膜、SiN膜、SiON膜或者它们的叠层膜。将平坦化树脂膜(1...
该专利属于夏普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社授权不得商用。
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