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本发明提供一种具p型非晶质硅及透明导电氧化物薄膜的基板及制备方法。该方法包括齐备一具有透明导电氧化物薄膜的基板；于该具有透明导电氧化物薄膜的基板的表面形成纹理，得到一具有纹理表面结构的具有透明导电氧化物薄膜的基板；以及使用物理气相沉积法(P...
该专利属于光洋应用材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光洋应用材料科技股份有限公司授权不得商用。

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