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本发明公开一种基于光源调制的掩模预对准系统，包括：光源单元，用于为该系统提供预对准光束；至少一光源内调制单元，用于调制该对准光束；掩模板及位于该掩模板上的标记；一四象限传感器单元，用于接收该调制后对准光束照射该标记后的光强信号；一信号采集调...该专利属于上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司授权不得商用。