下载柔性电容式触觉传感器及其柔性电容单元的制备方法的技术资料

文档序号:9404801

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本发明涉及一种柔性电容式触觉传感器,包括柔性电容单元以及与其电连接的信号处理电路电路板,所述柔性电容单元包括柔性绝缘介质层,其上、下表面分别开设与上导电电容极板层、下导电电容极板层的形状相吻合的凹槽,上导电电容极板层嵌入在柔性绝缘介质层的上...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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