下载一种多晶硅及其制备方法的技术资料

文档序号:9402752

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本发明公开了一种多晶硅的制备方法。该方法采用孪晶生长控制技术,通过对普通多晶工艺进行优化,将隔热笼迅速打开,调节隔热笼的开度在6—8cm,长晶初期,调节加热器温度为1425—1440℃,缓慢提升隔热笼,沿坩埚底部纵向在形核源层上面生长成一层...
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