下载一种多晶料在区熔单晶硅中的一次成晶工艺制备方法的技术资料

文档序号:9402743

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本发明涉及一种多晶料在区熔单晶硅中的一次成晶工艺制备方法,如下步骤:使用超声波清洗机清洗得到多晶硅,转入区熔单晶炉内,将籽晶与熔硅进行熔接,熔接后启动上下轴转速,在细颈生长结束后,进行放肩、出包、扩肩处理,等径、收尾、停炉工序。本发明有益效...
该专利属于刘剑所有,仅供学习研究参考,未经过刘剑授权不得商用。

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