下载一种多孔硅基一维氧化钨纳米线气敏元件的技术资料

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本实用新型公开了一种多孔硅基一维氧化钨纳米线气敏元件,其特征在于,硅基片衬底(1)的上面设置有多孔硅基氧化钨纳米线复合结构(6),多孔硅基氧化钨纳米线复合结构(6)由多孔硅(3)和一维氧化钨纳米线(2)组成,一维氧化钨纳米线结构(2)的上面...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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