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一种精抛机导轮制造技术
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下载一种精抛机导轮的技术资料
文档序号:9388143
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本实用新型所述的一种精抛机导轮,主要用于生产单晶硅抛光片的抛光机上。导轮外壳(1)和导轮底座(2)均采用一体式结构设计,导轮外壳(1)不再有留存抛光液残留的缝隙,导轮外壳(1)与导轮底座(2)过盈配合组装,避免出现松动或相对移动产生摩擦的问...
该专利属于洛阳单晶硅有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过洛阳单晶硅有限责任公司授权不得商用。
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