下载外延结构量子阱应力释放层的生长方法及其外延结构的技术资料

文档序号:9382811

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本发明提供了外延结构量子阱应力释放层的生长方法及其外延结构,包括总厚度为160nm的量子阱应力释放层,所述量子阱应力释放层为掺In和Al的HT?MQW层,包括40nm厚度的GaN层和2nm厚度的AlyInxGa(1-x-y)N层,其中x=0...
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