下载绝缘栅双极型晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:9382695

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本发明涉及集成电路制造领域,公开了一种绝缘栅双极型晶体管及其制造方法。本发明中,包括以下步骤:提供第二半导体类型衬底;在该衬底上生成第一半导体类型外延层;生成位于外延层中的第二半导体类型阱;生成位于阱中的第一半导体类型掺杂区;生成发射极通孔...
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