下载半导体鳍条的制作方法、FinFET器件的制作方法的技术资料

文档序号:9382692

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本发明实施例提供一种半导体鳍条的制作方法、FinFET器件的制作方法,所述半导体鳍条的制作方法包括:提供衬底;在所述衬底之上的预定区域选择性外延生长第一掩膜层;以所述第一掩膜层为掩膜在所述衬底之上选择性外延生长第一外延层;以所述第一外延层为...
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