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本发明提供一种镀膜机坩埚(1),其特征在于,在所述坩埚(1)内具有导热装置(2),所述导热装置(2)包括一根或多根沿所述坩埚(1)径向设置的径向金属丝或金属条(21),以及一根或多根沿所述坩埚(1)轴向设置的轴向金属丝或金属条(22)。本发...该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种镀膜机坩埚(1),其特征在于,在所述坩埚(1)内具有导热装置(2),所述导热装置(2)包括一根或多根沿所述坩埚(1)径向设置的径向金属丝或金属条(21),以及一根或多根沿所述坩埚(1)轴向设置的轴向金属丝或金属条(22)。本发...