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掩模板清洗器制造技术
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文档序号:9375232
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本发明涉及一种掩模板清洗器,包括依次设置的料台、清洗槽、漂洗槽和干燥装置,清洗槽内盛装有易挥发性的清洗液,清洗槽设置有用于冷却清洗液的冷却管,掩模板浸泡于清洗液中;漂洗槽内盛装有漂洗液,掩模板清洗后,浸渍于漂洗液中漂洗;干燥装置用于将漂洗后...
该专利属于唐军所有,仅供学习研究参考,未经过唐军授权不得商用。
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