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掩模板清洗器制造技术

技术编号:9375232 阅读:113 留言:0更新日期:2013-11-27 13:21
本发明专利技术涉及一种掩模板清洗器,包括依次设置的料台、清洗槽、漂洗槽和干燥装置,清洗槽内盛装有易挥发性的清洗液,清洗槽设置有用于冷却清洗液的冷却管,掩模板浸泡于清洗液中;漂洗槽内盛装有漂洗液,掩模板清洗后,浸渍于漂洗液中漂洗;干燥装置用于将漂洗后的掩模板风干。本发明专利技术可以有效减少清洗液的损耗,从而降低清洗成本。而且,在清洗的过程中,本发明专利技术采用机械手对掩模板进行转运,可实现清洗过程的连续化和自动化控制,提高了清洗效率,并进一步降低了清洗成本。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种掩模板清洗器,其特征在于:包括依次设置的料台、清洗槽、漂洗槽和干燥装置,所述料台适于装载掩模板,所述清洗槽内盛装有易挥发性的清洗液,所述清洗槽设置有用于冷却所述清洗液的冷却管,所述掩模板浸泡于所述清洗液中;所述漂洗槽内盛装有漂洗液,所述掩模板清洗后,浸渍于所述漂洗液中漂洗;所述干燥装置包括干燥室和鼓风机,所述鼓风机通过管道向所述干燥室内通入无尘空气,使漂洗后的掩模板干燥。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:唐军
申请(专利权)人:唐军
类型:发明
国别省市:

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