下载用于纳米级制造的顺从装置的技术资料

文档序号:935827

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本发明涉及包括支撑体(50)、浮体(52)和多个弯曲臂(54、56、58、60)的顺从 装置(18)。多个传递臂(54、56、58、60)中的每一个连接于支撑体(50)和浮体(52)之 间以在其间平行地传递负载。为此,弯曲臂(54、56、5...
该专利属于分子制模股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过分子制模股份有限公司授权不得商用。

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