用于纳米级制造的顺从装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及包括支撑体(50)、浮体(52)和多个弯曲臂(54、56、58、60)的顺从 装置(18)。多个传递臂(54、56、58、60)中的每一个连接于支撑体(50)和浮体(52)之 间以在其间平行地传递负载。为此，弯曲臂(54、56、58、60)具有第一和第二组弯 曲接合点(62、64、66、68)。第一组弯曲接合点(62、64)有助于所述弯曲臂(54、56、 58、60)围绕沿第一方向延伸的第一轴线的旋转运动。第二组弯曲接合点(66、68) 被安排成有助于弯曲臂(54、56、58、60)围绕沿与第一方向横切的第二方向延伸的 第二轴线的旋转运动。该弯曲接合点(62、64、66、68)是旋转接合点。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
本专利技术一般涉及间接中心顺从(compliant)装置。具体而言，本专利技术涉及适用于刻印平板印刷中固定模板的顺从装置。顺从装置是具有弹性的装置以使一个物体相对于于另一个物体顺从地浮动，同时提供其间期望数量的运动自由度。这些特性尤其允许浮体补偿相对于工作表面的超出容限外的空间定向。活动的顺从装置利用执行器来实现物体间期望的空间定向。“被动的”顺从装置是无动力的，亦即没有能动控制。由于能够在动力学上限制任何平移和旋转方向，“被动的”顺从装置通过互连连杆和被动弹性元件(例如弹簧)来实现浮体和工作件之间的适当的空间定向。顺从功能的执行发生在浮体与工作面的接触时。为此，可连续地或平行地实现浮体和经由连杆与其耦合的支撑体之间的力的传递。在Bailey等人的美国专利第6,696,220号中示出了一种示例性顺从装置，该专利公开了用于刻印平板印刷的间接被动顺从装置。该间接被动顺从装置有助于浮体和通过多个连杆与其耦合的支撑体之间力的连续的传递。连杆经由弯曲接合点耦合于浮体和支撑之间。以此构造，可实现刻印平板印刷模板和工作面的刻印材料之间的适当的空间定位。因此，存在着提供用于刻印平板印刷工艺的改本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔炳镇，S·V·斯里尼瓦桑，
申请(专利权)人：分子制模股份有限公司，
类型：发明
国别省市：