下载一种表面贴装电感器件及其晶圆级制作方法的技术资料

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本发明涉及一种表面贴装电感器件及其晶圆级制作方法,属于无源器件制造领域。其包括衬底(110)、一层以上形成中央电感线圈区域的电感结构的金属布线层(200)和两侧电极区域的电极(300),不同的金属布线层(200)之间通过介电层通孔(401)...
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