下载用于氧传感器芯片的烧结设备的技术资料

文档序号:9357567

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本发明公开了一种用于氧传感器芯片的烧结设备,包括料台、烧结室、排胶机构、升降机构、传送机构、冷却机构以及控制装置。本发明结构简单,在具有烧结功能的基础上,能够将氧化锆板在烧结过程中产生的胶物排出,有效保证了氧传感器芯片的良好性能。...
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