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一种在硅衬底上生长硒化铋单晶薄膜的方法及装置制造方法及图纸
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下载一种在硅衬底上生长硒化铋单晶薄膜的方法及装置的技术资料
文档序号:9357564
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一种在硅衬底上生长硒化铋单晶薄膜的方法,包含如下步骤:步骤1.对单晶硅表面做化学清洗并刻蚀钝化,得到硅衬底;步骤2.将Bi2Se3化合物和硅衬底分别放置于管式炉石英管中心区和第一管口,密封石英管并抽真空;步骤3.加热石英管中心区;步骤4.从...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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