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一种太赫兹气体传感器制造技术
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下载一种太赫兹气体传感器的技术资料
文档序号:9355762
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本发明提供了一种太赫兹气体传感器,包括一个第一金属板和一个第二金属板,两个金属板平行设置,两个金属板之间设置有缝隙,两个金属板的中心分别设置有一个凹槽,两个凹槽相对设置,两个金属板设置在一个箱体中,两个金属板和箱体紧密连接,与两个凹槽相邻的...
该专利属于上海理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海理工大学授权不得商用。
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