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本发明提供了基于微机电系统的热量计，它包括两个支撑在薄膜基片内的微室。所述薄膜基片包括一个被构设为测量两个微室之间温差的热电传感器，还包括一个具有热稳定性且高强度的聚合物膜片。此外，提供了基于MEMS的热量计的制造方法，以及利用热量计测量生...
该专利属于纽约市哥伦比亚大学理事会所有，仅供学习研究参考，未经过纽约市哥伦比亚大学理事会授权不得商用。

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