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太阳能电池表面结构的RIE腐蚀工艺，包括以下步骤：步骤一：将要刻蚀的硅片置于功率电极上；步骤二：关闭反应室，充入反应所需的气体；步骤三：设置反应参数，射频功率、反应气体压强和反应时间；步骤四：运行设备开始腐蚀工艺；步骤五：结束腐蚀工艺，取出...
该专利属于江苏宇兆能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏宇兆能源科技有限公司授权不得商用。

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