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保持工作台制造技术
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文档序号:9336741
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本发明提供一种保持工作台,该保持工作台能够降低污染物在吸引保持的板状物上的附着和损伤的可能性。一种保持板状物的保持工作台,所述保持工作台的特征在于,具有:环状保持部,其具有保持板状物的外周部的环状保持面;以及中央凹部,其被该环状保持部围绕,...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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