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一种可以连续生长的提拉法晶体生长装置制造方法及图纸
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下载一种可以连续生长的提拉法晶体生长装置的技术资料
文档序号:9304020
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本实用新型涉及一种可以连续生长的提拉法晶体生长装置,包括提拉装置,晶体生长装置,整个晶体生长装置位于一个上部开口的炉腔中,炉腔外有炉壁(15)保护。生长坩埚(12)所在的生长炉和化料坩埚(8)所在的化料炉的温度是独立控制的。连通器(11)外...
该专利属于嘉兴学院所有,仅供学习研究参考,未经过嘉兴学院授权不得商用。
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