下载缺陷检查方法、缺陷检查装置以及基板的制造方法的技术资料

文档序号:9298927

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本发明的一个实施方式,即用于从形成有多个布线基板的母基板中检测出缺陷位置的缺陷检查方法,包括:通过分别对多个布线基板进行电阻检查,来检测出具有缺陷部的缺陷基板或包含缺陷部的缺陷块的工序;对缺陷基板或缺陷块施加电压,来使缺陷部发热的工序;利用...
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