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本发明实施例提出了一种声波谐振器及其制备方法，所述声波谐振器包括：衬底；下层金属电极，所述下层金属电极的一端形成在所述衬底上，所述下层金属电极的另一端与所述衬底平行且保持一定距离；下层二氧化硅薄膜，形成在所述下层金属电极上；压电薄膜，形成在...
该专利属于中国科学院声学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院声学研究所授权不得商用。

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