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晶粒剥离取放方法及其装置制造方法及图纸
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文档序号:9296535
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一种晶粒剥离取放方法及其装置,其提供一吸取处,以吸取一具有多个晶粒的胶膜;将胶膜与晶粒相分离,晶粒仍维持于吸取处;将晶粒放置于一平台;以及由平台处取出晶粒,并将晶粒置放于一承载单元。如前所述,其能提升品质与效率,并能确保晶粒不受人为不当的损...
该专利属于苏州均华精密机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州均华精密机械有限公司授权不得商用。
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