温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种常开型氮化镓场效应晶体管的制造方法，包括：提供衬底材料，所述衬底材料表面外延生长氮化镓层，所述氮化镓层表面生长铝镓氮层；通过等离子体刻蚀，形成工作区域；等离子体刻蚀并沉积源极和漏极金属；通过等离子体刻蚀金属并高温退火形成源极和漏极结构；...
该专利属于无锡派腾微纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡派腾微纳米科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。