下载一种宽带离子束传输方法及离子注入机的技术资料

文档序号:9296426

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本发明公开了一种宽带离子束传输方法,其采用两个独立的磁场:分析磁场和校正磁场,以及分析光栏对宽带离子束进行传输;若所述分析磁场使从其入射面射入的宽带离子束在水平方向沿逆时针方向偏转,则所述校正磁场使通过所述分析光栏后再次扩散的离子束在水平方...
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