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一种校正布局图形的方法，包括：提供包括多个第一孔图形的第一布局图形；在所述第一孔图形中形成辅助图形，获得第二布局图形，所述辅助图形的尺寸小于光刻过程中的曝光分辨率；对所述第二布局图形进行光学邻近校正，获得第一修正图形，所述第一修正图形包括第...
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