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等离子刻蚀设备的基片定位升降装置，包括固定于反应腔体的下电极，设置于下电极上的基片卡盘，承接片盘的顶针升降机构和使基片精确定位的压环升降机构；压环升降机构包括底座，活动板，压紧环和连接活动板与压紧环的升降杆，以及带动活动板升降的压环升降驱动...
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