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本发明提供了一种离子注入装置及其控制方法。通过多个固定式射束测量器以及可移动式或固定式射束测量装置测量离子束的纵向剖面、横向剖面及积分电流值。控制装置在离子注入前的射束电流调节阶段，根据所述固定式射束测量器以及所述可移动式或固定式射束测量装...
该专利属于斯伊恩股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯伊恩股份有限公司授权不得商用。

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