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本发明公开了一种基于柔性基底的太赫兹调制器膜材料的制备方法，采用聚酰亚胺为柔性基底，清洗后在其表面沉积厚度为50～300nm的金属钒纳米薄膜，再将金属钒纳米薄膜进行快速热处理，形成金属钒薄膜厚度为100～600nm。本发明借助于激光激励，通...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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