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本发明涉及用于半导体线锯的线和线锯，公开了一种线(200)，其适用于锯切半导体材料(102；104；106；108)，其中所述线包括非圆形横截面。此外，提供了一种线导引器(112，114，116，118)，其适用于引导所述的用于锯切半导体材...
该专利属于应用材料瑞士有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料瑞士有限责任公司授权不得商用。

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