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本实用新型涉及一种晶圆脱环辅助工具，包括空心的圆柱形盖子，所述圆柱形盖子的直径根据划片环的直径而定，确保圆柱形盖子盖在芯片上时恰好位于划片环内，在所述圆柱形盖子上设置有把手，所述把手制成近似圆柱体，便于脱环时的揭膜操作，所述圆柱形盖子的材质...
该专利属于江阴新顺微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江阴新顺微电子有限公司授权不得商用。

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