温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于柔性面板连续无掩膜光刻方法的柔性面板连续无掩膜光刻装置，其技术方案的要点是，包括基座，所述的基座上设有光刻基板，所述的光刻基板上方设有光刻组件，所述的光刻基板的两侧分别设有卷出装置和收卷装置，所述的光刻基板上设有抽气...
该专利属于中山新诺科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山新诺科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。