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基于电容的催化燃烧型甲烷浓度传感结构制造技术
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下载基于电容的催化燃烧型甲烷浓度传感结构的技术资料
文档序号:9263123
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本实用新型公开了一种基于电容的催化燃烧型甲烷浓度传感结构,包括基底以及设置在基底上的支柱一和支柱二,所述支柱一与支柱二之间设置有用于构成平板电容器的极板一和极板二,极板一安装在基底的上表面,极板二的一侧边通过连接梁一与支柱一相连接,极板二的...
该专利属于西安科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安科技大学授权不得商用。
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