基于电容的催化燃烧型甲烷浓度传感结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于电容的催化燃烧型甲烷浓度传感结构，包括基底以及设置在基底上的支柱一和支柱二，所述支柱一与支柱二之间设置有用于构成平板电容器的极板一和极板二，极板一安装在基底的上表面，极板二的一侧边通过连接梁一与支柱一相连接，极板二的另一侧边通过连接梁二与支柱二相连接，连接梁一和连接梁二的上表面均设置有由电阻丝制成的加热层，加热层的上表面设置有用于在温度加热后产生弯曲变形的变形层，变形层的上表面设置有用于附着催化剂的薄膜层，薄膜层的上表面设置有用于与甲烷气体发生无焰燃烧的催化剂层。该甲烷浓度传感结构的结构简单、使用方便、生产成本低、功耗小、可组成传感矩阵，便于推广使用。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
基于电容的催化燃烧型甲烷浓度传感结构，其特征在于：包括基底（5）以及设置在基底（5）上的支柱一（1）和支柱二（2），所述支柱一（1）与支柱二（2）之间设置有用于构成平板电容器的极板一（10）和极板二（11），所述极板一（10）安装在基底（5）的上表面，所述极板二（11）的一侧边通过连接梁一（6）与支柱一（1）相连接，所述极板二（11）的另一侧边通过连接梁二（7）与支柱二（2）相连接，所述连接梁一（6）和连接梁二（7）的上表面均设置有由电阻丝制成的加热层（12），所述加热层（12）的上表面设置有用于在受热时产生弯曲变形的变形层（13），所述变形层（13）的上表面设置有用于附着催化剂的薄膜层（14），所述薄膜层（14）的上表面设置有用于与甲烷气体发生无焰燃烧的催化剂层（15）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张渤，
申请(专利权)人：西安科技大学，
类型：实用新型
国别省市：