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提供用于封装有机发光二极管（OLED）结构的方法及装置，所述有机发光二极管结构使用材料混合层布置于基板上。在材料混合层的沉积期间所使用的处理参数允许控制所沉积的混合层的特征。混合层可被沉积为使得在混合层的某些子层中具有无机材料的特征，且在混...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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