下载一种采用多步梯度扩散法制备晶体硅电池片的方法的技术资料

文档序号:9239053

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本发明涉及一种晶体硅电池片的生产技术,具体涉及一种晶体硅电池片扩散制程领域。具体方法为将P型晶体硅通入预先设定的800℃的炉管,通入氮气,保温600-900s;分两步将炉管内温度升温至860℃,同时通入氧气和氮气;炉内温度恒温到860℃,同...
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