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本发明涉及一种蓝宝石衬底晶片清洗液、制备方法、用途和清洗方法，所述清洗液包括氧化胺表面活性剂、含氟表面活性剂、有机磺酸盐、脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚、碱、络合剂、颗粒捕捉剂和纯水，其对蓝宝石衬底晶片具有优异的清洗洁净能力，能够彻底除去污染物，...
该专利属于常熟奥首光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常熟奥首光电材料有限公司授权不得商用。

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