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本实用新型涉及一种真空水冷腔体，应用于高真空晶体生长设备中，包括腔体壁和冷却水通道，所述冷却水通道开设于所述腔体壁内。由于直接在腔体壁中开设了冷却水通道，腔体壁材料直接作为冷却水通道的外壁，这就杜绝了冷却水向外泄露的现象，并且可以有效防止冷...
该专利属于上海昀丰光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海昀丰光电技术有限公司授权不得商用。

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