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本发明实施例提供了一种检测刻蚀残留的方法，涉及显示技术领域，可实现检测刻蚀残留的目的，从而提高产品良率；该方法包括获取待检测处的图案；对所述待检测处的图案进行红外光谱测试，得到红外光谱图;根据所述红外光谱图，判断是否存在残留物质。用于制备阵...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司授权不得商用。