下载硅纳米线阵列的移植及其简单器件制备的方法的技术资料

文档序号:9224132

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本发明公开了一种硅纳米线阵列的移植及其简单器件制备的方法,利用清洁硅片上制备的多孔银膜作为催化金属,通过在氢氟酸/双氧水中蚀刻来制备硅纳米线阵列,高温水蒸气下氧化形成硅-氧化硅核壳结构,再放入高温氨水溶液中,通过氧化硅阻挡-银辅助氨水蚀刻,...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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