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具有冷却剂气体孔洞的紫外线反射器及方法技术
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文档序号:9223957
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一种用于紫外线灯的反射器,该紫外线灯可在基材处理设备中使用。该反射器包含在该紫外线灯长度上延伸的纵向带。该纵向带具有一弯曲反射表面并且包含多个通孔以将冷却剂气体导向该紫外线灯。在此亦描述使用具有反射器的紫外线灯模块的腔室以及紫外线处理的方法...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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