下载用于永久接合晶片的方法的技术资料

文档序号:9202821

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明揭示一种将第一基板(1)的第一接触表面(3)接合至第二基板(2)的第二接触表面(4)的方法,该方法包含以下步骤,尤其包含以下顺序:-在第一接触表面(3)的表面层(6)中形成贮液槽(5),-利用第一起始物或第一组起始物至少部分填充该贮液...
该专利属于EV集团E·索尔纳有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过EV集团E·索尔纳有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。