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通过利用波长解析测量方法实现最适合光学波导模式传感器的光学系统，提供小尺寸、稳定和高度灵敏的检测装置。一种检测装置包括：检测板，其中硅层和二氧化硅层以这个次序被布置在石英玻璃基板上；光学棱镜，其可选地粘附到检测板的石英玻璃基板的表面，其中所...该专利属于独立行政法人产业技术综合研究所;信越化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过独立行政法人产业技术综合研究所;信越化学工业株式会社授权不得商用。